三氟化氮

理化性质

三氟化氮化学式NF3。无色、无臭、性质稳定的液化气体，不溶于水和碱，化学上较惰性，但赤热时与金属、非金属作用，与油和脂肪发生反应，与氢气激烈作用。

高纯三氟化氮几乎没有气味,它是一种热力学稳定的氧化剂,大约在350℃左右可分解成为二氟化氮和氟气,故其反应性质类似于氟。三氟化氮用作氧化剂时,在发生反应的同时,可作为二氟化氮游离基的供给源。比较常见的包装有两种20KG/44L钢瓶和8~14吨装的ISO管束槽。
毒性大，与氟化物和氢氟酸类似。急性毒性： 大鼠吸入LC50176ppm(lh)。
美国规定作业环境空气中最高容许浓度为10ppm (30mg/m3)。

背景 本国的三氟化氮的论述是在上个世记80那个年代展开的，关键机关单位是我国的船泊重工集團集團718论述所。三氟化氮高新产业趋势趋势进步前景的开发开发大概上分三种时期，最初是在国防教育生高新产业出产，关键是一少部分生產自购一方面是上个世记末逐渐国家的经济的开发，三氟化氮高新产业趋势趋势进步前景的开发化的论述飞快开发，微网络生高新产业出产用三氟化氮纷纷列装第三方种时期是近三年在微网络生高新产业出产飞快开发的推动下。中国三氟化氮的生產线纷纷九游会网页版官网投产，其出产标准已与欧洲富裕国家的标准取决于。可能微网络生高新产业出产用的气体的优点和缺点是市厂要紧迫，开发的速度迅速，能力困难更大，在面对国.际上三氟化氮高新产业趋势趋势进步前景的开发的便捷开发，与之较好中国三氟化氮生產机构取决于较好弱小。 用途 三氟化氮（NF3）注意用处是看做氟化氢－氟化气高脉冲光化学式上脉冲光器的氟源，在h2-O2 与F2相互间症状能的就能够有效一部分（约25%）就能够以脉冲光辐射能施发出，所 HF-OF脉冲光器是化学式上脉冲光器中最有想的脉冲光器。三氟化氮是微网上化工中的一种好的的等化合物蚀刻空气，对硅和氮化硅蚀刻，应用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气瓶的结合空气有挺高的蚀刻频率和选购性，况且对外层无生态破坏，尤为是在的厚度小于等于1.5um的九游会网页版官网系统电源电路食材的蚀刻中，三氟化氮兼有是好的蚀刻频率和选购性，在被蚀刻物外层不留下某些残留物物，一同也是是好的洁净剂。 应用

IC方面：由于作为半导体九游会网页版官网中气体清洗剂的全氟烃(PFC)对环境有害,近年来有逐渐被三氟化氮(NF3)取代之势。使用NF3作为化学蒸气沉积(CVD)箱清洗剂,与全氟烃相比,可减少污染物排放量约90%,且可显著提高清洗速度,从而可提高清洗设备能力约30%。
LCD方面：NF3还可用作蚀刻剂,也用于液晶显示器(LCD)的加工。
太阳能电池：NF3作为蚀刻和清洗气体也在太阳能电池制造行业广泛应用。

生产方法 近年来三氟化氮化学九游会网页版官网化重九游会网页版官网制造最主要的有两个途径,第一合成视频法:将氟化氢铵在镍制想法器内加热,氟气、氡气和氨实现分布范围器进想法器随便氟化想法。第二是电解设备设备法法:在务必室温下,电解设备设备法熔融的氟化氢铵,电解设备设备法的过程中阳极制造三氟化氮,金属电极制造氡气。我国的三氟化氮制造制造厂的制造手段为上述内容两者手段。 类别 有影响有毒气体 毒性分级 食物中毒 急性毒性 吸到- 大鼠 LC50: 6700 PPM/ 1 钟头 吸到- 小鼠 LC50: 2000 PPM/4钟头 可燃性危险特性 遇氮气、油脂物助燃 吸热被分解转换成有害氟化物和氮脱色物实验室气体 储运特性 厂房排风温度干澡 轻装轻卸 与氧气、复原剂、油垢污渍分手保存 灭火剂 雾状水、泡末 职业标准 TWA 29 毫克/ 万立米 STEL 29 毫克/ 万立米